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激光粒子計數器工作原理
來源: | 作者:industrial-52 | 發布時間: 2015-01-10 | 1909 次瀏覽 | 分享到:
1、工作原理
    光散亂式粒子計數儀(采用激光或白光光源)主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個單位體積的個數濃度。從得到的數據里可以得出其測試范圍(粒徑通道)的個數。
    首先粒子計數儀由內部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進行氣體(一般的超凈間為室內空氣)采樣。當采樣氣體中的粒子通過光源(激光)等收束的光束時,產生光散亂現象。光散亂通過光電變換器變為電信號(脈沖),粒子越大得出該脈沖信號就越大(波峰值),通過此時的波峰值和脈沖數就可得出每個粒徑的個數濃度。即通過測試散亂光的數量和強度,得出實時測試數據。
    凝聚核法粒子計數儀(CNC)工作原理(MODEL 3851) 
    普通光散亂式粒子計數儀無法檢測到超凈間內漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進行測試。采用高溫酒精蒸汽與被測空氣混合達到過飽和狀態。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核,粒徑增大后即可檢測出來。
    CNC具有較高的采樣效率,因而可以在短時間內高效率的檢測到超凈間內的粒子濃度。
2、粒子計數儀的分類
    A、按測試原理分 
    光散亂法測試(白光、激光)、    顯微鏡法測試、    稱重法測試、    DMA法測試(粒徑分析儀)、慣性法測試、    擴散法測試、   凝聚核法測試(CNC)
    B、按流量分
    小流量 0.1cfm(2.83L/min)     大流量 1cfm(28.3L/m
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